4J29封接工艺介绍：

　　封接原理：通过与4J29可伐合金表面的氧化物与玻璃互溶而紧密结合在一起的,所以可伐合金的预氧化是金属外壳制造的一个非常重要的工艺环节,是直接影响气密封接的一个重要因素.为实现气密封接, 4J29可伐合金预氧化需要得到的氧化物应是Fe3O4和FeO. 4J29合金的氧化主要是铁的氧化物，即从内到外依次是FeO,Fe3O4,Fe2O3,其中FeO,Fe3O4 的结构致密并且与玻璃和金属的结合紧密，能使封接致密，Fe2O3的结构松散，粘附性差，封接后容易漏气。另一方面氧化膜的厚度也是关键的要素，过薄或过厚都会影响密封性能。氧化膜的厚度要控制在一定的范围内；氧化膜过薄则氧化物完全溶于玻璃，造成玻璃与金属基体表面的直接封接，使封接强度下降；氧化膜过厚则造成金属表面氧化物较粗糙疏松，封接件容易漏气。

　　气密封接的方法: 直插式引线使内部元件与外部连接在一起

　　封接过程：脱炭-预氧化熔封

　　脱炭主要是除去可伐合金中的气体，降低含碳量

　　预氧化主要是在可伐合金表面形成所需要的氧化膜（下面重点介绍）

　　熔封主要是使氧化膜与玻璃熔合。

　　预氧化方案介绍：

　　1.环境的氧分压要控制在10-7atm以下，环境的氢分压与水分压的比要控制在0．以上，这可以通过在水蒸气中进行氧化或在以氮、氩等惰性气氛为载气，调整载气中氢与水(即露点)的比的可控气氛中进行氧化来实现。氧化工艺可以是800℃17min、900℃3min、1000℃lmin或是1100℃15s。在氧化膜的增重处于0．3-0．7mg／cm2时，气密性和抗拉强度佳。

　　4J29可伐合金在空气中900℃加热5分钟，合金表面氧化膜的主要成分为Fe2O3，其次是CoO和NiO。应该注意避免。

　　2.4J29可伐合金在水蒸气中的氧化

　　在A℃水蒸气中对可伐合金氧化10-60分钟，然后在13．3322Pa-133．322Pa空气中冷却。（由于在570℃以下氧化并不能形成FeO，而在水蒸气中环境氧分压非常低，也不能生成Fe2O3，故可伐合金表面只获得单一的Fe3O4氧化膜）。

　　3.在分压为1．0910-9Pa，温度为A℃的水蒸气中加热22分钟。（氧化时间小于100分钟，表面的氧化物只有的Fe3O4，，氧化物的特点是与玻璃结头中SiO2和B2O3反应的化学活性大，与基体之间充分粘着，具有高的结构均匀性、耐蚀性和与可伐相同的线膨胀系数 ）

　　4.N2-H2O-H2三元气氛预氧化: 在N2、H2O和H2混合气氛中的预氧化

　　优点：更容易控制预氧化的质量

　　H2：含量是0．5％-2％。

　　H2O是一种容易控制的氧化性介质，它能使4J29可伐合金在表面上生成一层附着性好且均匀的氧化物。加入H2是为了防止空气泄露炉内，它可与氧结合成水。

　　方法： 在N2-1％H2O-0.4％H2的气氛下、1000℃、加热10分钟。

　　这种条件下生成的氧化膜非常均匀且附着良好，厚度大约是1m，晶界氧化物穿透深度约为4m。4J29可伐在这种气氛下进行氧化，速度较快，氧化膜生长重现性非常好，完全可与空气气氛相比较。生长的氧化物甚至在1000℃的温度下也有良好的附着性。

　　4J29(kovar,可伐合金，科瓦合金，ASTM F-15)